商务部启动对日二氯二氢硅反倾销调查，国产电子特气产业链迎发展机遇
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商务部于2026年1月7日正式宣布，对原产于日本的进口二氯二氢硅（Dichlorosilane, DCS）发起反倾销立案调查。 此举旨在回应国内产业诉求，调查日本产品是否存在倾销行为并对中国国内产业造成损害。一、行业认知随着全球半导体产业向**先进制程（7nm以下）**持续演进，电子特气作为芯片制造的核心材料之一，正迎来新一轮发展机遇。其中，二氯二氢硅（SiH₂Cl₂） 是用于沉积多晶硅薄膜的关 ...
商务部于2026年1月7日正式宣布，对原产于日本的进口二氯二氢硅（Dichlorosilane, DCS）发起反倾销立案调查。 此举旨在回应国内产业诉求，调查日本产品是否存在倾销行为并对中国国内产业造成损害。
一、行业认知
随着全球半导体产业向**先进制程（7nm以下）**持续演进，电子特气作为芯片制造的核心材料之一，正迎来新一轮发展机遇。其中，二氯二氢硅（SiH₂Cl₂） 是用于沉积多晶硅薄膜的关键前驱体气体，在逻辑芯片、存储芯片、功率器件等领域广泛应用。
- 核心驱动力：
- 技术突破：高端电子特气国产化率低，长期依赖进口，国内企业加速技术攻关；
- 市场需求：全球半导体产能扩张，中国大陆晶圆厂扩产带动电子特气需求增长；
- 政策支持：国家“十四五”规划重点支持集成电路材料自主可控，推动电子特气国产替代；
- 产业链协同：从空分设备、气体纯化到下游应用，形成完整供应链。
当前，多家上市公司已深度参与电子特气产业链建设，覆盖空分设备、二氯二氢硅、三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯、其他特种气体等多个环节，部分企业已成为国际大厂合格供应商或具备规模化生产能力，未来将受益于半导体产业国产替代浪潮与技术升级趋势。
二、产业链及上市公司梳理
1. 空分设备
- 杭氧股份：国内空分设备市占率第一；2024年空分设备营收45.25亿元。
- 福斯达：2024年空分设备营收19.17亿元。
2. 二氯二氢硅
- 三孚股份：电子级二氯二氢硅：批量供应；产能：850吨/年。
- 和远气体：电子级二氯二氢硅：试生产；产能：300吨/年。
- 金宏气体：电子级二氯二氢硅：试生产；产能：200吨/年。
- 华塑股份：电子级二氯二氢硅：完成可行性研究；规划产能：0.05万吨/年。
- 中国中冶：下属中硅高科转型升级项目，主要产品包含电子级二氯二氢硅。
3. 三氟化氮
- 中船特气：产能18500吨/年；公司三氟化氮全球覆盖率65.03%。
- 南大光电：产能8300吨/年。
- 昊华科技：产能5000吨/年；在建产能6000吨/年。
- 华特气体：新募投项目拟建产能1000吨/年。
- 广钢气体：正在筹建3000吨电子级三氟化氮项目。
4. 六氟化钨
- 中船特气：产能2000吨/年；公司六氟化钨全球覆盖率70.31%。
- 昊华科技：产能600吨/年。
- 中巨芯：产能600吨/年。
- 和远气体：1套年产500吨六氟化钨生产装置。
- 至纯科技：子公司南通至纯经营范围包括六氟化钨。
5. 六氟丁二烯
- 昊华科技：产能1200吨/年，全球第一。
- 中船特气：产能200吨/年。
- 中巨芯：175吨/年的电子级六氟丁二烯项目已经建成。
- 华特气体：年产300吨六氟丁二烯合成项目（在建工程）。
- 金宏气体：在建产能200吨/年。
6. 其他
- 凯美特气：公司电子特气为超高纯气体和光刻气，与多家头部企业建立合作，光刻气通过ASML子公司Cymet的合格供应商认证。
- 侨源股份：公司高纯氮气、高纯氩气应用于半导体制造领域，已与多家半导体产业链企业建立合作，如士兰微。
- 建业股份：超纯氨产能13000吨。
- 广钢气体：公司深耕电子大宗气体，产品涵盖其全部六大品种。
- 华特气体：国内特气国产化的先行者，2024年末实现55个产品进口替代，其中超过20产品供应到14nm及以下的先进制程产线。
- 和远气体：公司电子特气产品涵盖了硅基、氟基、氨基、氯基、碳基五大系列，主要产品包括三氟化氮、六氟化钨。
- 雅克科技：子公司高纯四氟化碳产能2000吨/年，高纯六氟化硫产能12000吨/年。
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